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Micro-Hybrid 單通道二氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆單通道探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于濾光片的參數(shù)，該檢測器非常適合測量二氧化硫（SO2）的濃度。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測光譜范圍，該光譜范圍對應于各個上游濾光片的透射范圍。

Micro-Hybrid 單通道溫度熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度單通道熱電堆探測器，用于非接觸式溫度測量。

Micro-Hybrid 單通道高溫紅外熱電堆探測器 高靈敏度的單通道熱電堆檢測器，用于高溫范圍內(nèi)的NDIR氣體分析。 它可以在高達190°C的環(huán)境溫度下進行測量。由于采用了焊接過濾器，檢測器對水分和其他環(huán)境影響不敏感。

Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測器基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆四極桿探測器，帶有可單獨組合的濾光片，用于氣體分析。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實黑體輻射特性的紅外源。強大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內(nèi)實現(xiàn)較高的輻射強度。除了高紅外輸出強度外，我們成功開發(fā)的重點還在于長期穩(wěn)定性。

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的IR輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的膜基于C-MOSI®技術，膜溫度高達800°C。它可以長期穩(wěn)定地輸出輻射。發(fā)射器所需的低輸入功率還支持獨立和手持式應用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬CMOSI層。

Micro-Hybrid 紅外輻射源帶蓋濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能薄膜由納米非晶碳組成，其薄膜溫度高達850°C。它可以實現(xiàn)長期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到5.5 µm波長范圍內(nèi)的發(fā)射。帶蓋的包裝形式適用于測量Max.2 cm的截面。

Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39SiARC濾光片 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能膜由納米非晶碳組成，其膜溫度高達850°C。它可以實現(xiàn)長期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到12 µm波長范圍內(nèi)的發(fā)射。 包裝形式的反射器適用于測量2 cm以上的截面。